ノベリオンシステムズ株式会社 / 酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発

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◉ サービス名

ノベリオンシステムズ株式会社

◉ サービス内容

酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発。

＜主要製品＞
微細加工装置に適用できるECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の高出力プラズマ源

◉ サイトURL

http://www.novelion-sys.com/category/products/

◉ 設立年

2006年

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